材質(zhì)、表面處理
| SCSS | |
|---|---|
| 主體 | SUSXM7（相當于SUS304） |
| 球 |
SUS440C（硬度55-60HRC） 薄膜氟涂層 |
用途
工件的固定?定位/真空裝置/FPD制造裝置/半導(dǎo)體制造裝置特點
- 用于固定FPD制造裝置、半導(dǎo)體制造裝置等真空裝置、真空容器內(nèi)的工件。
- 經(jīng)過無塵洗凈?無塵包裝。?無塵洗凈、無塵包裝服務(wù)
- 通過薄膜氟涂層，無塵洗凈后提高了球的潤滑性。
- 通孔和通槽易于排出蓄積于裝置內(nèi)的氣體。
- SCSS-VR通過整球的點接觸可靠地固定工件。
- SCSS-VF通過平面頭鋼球進行面接觸。不會損傷工件。球可彈性旋轉(zhuǎn)9°。即使配合面為傾斜面，也能可靠地夾緊。
