形狀図

構(gòu)造

夾緊型MOHS-C MOHS-C MOHS-SPCR

材質(zhì)、表面處理

	MOHS-C
軸套	SUS303
間隔體	Vespel＊1
內(nèi)六角圓柱頭螺栓	SUSXM7 二硫化鉬涂層

＊1：　VESPEL是杜邦公司的注冊(cè)商標(biāo)。
顏色可能會(huì)因批次等而變化。

特點(diǎn)

• 特性

	MOHS-C
低塵	△
適用于真空環(huán)境	◎
低排氣	○
耐熱	◎
耐藥性	○
容許誤差調(diào)整	◎
電絕緣性	◎
無(wú)塵	◎
可使用溫度	-20℃～200℃

◎：特優(yōu)　○：優(yōu)
△：可能產(chǎn)生磨屑

• 十字滑塊型撓性聯(lián)軸器。
• 已完成無(wú)塵洗凈、無(wú)塵包裝?？稍贔PD生產(chǎn)設(shè)備等需要的耐熱、耐藥品性環(huán)境或無(wú)塵室中使用。
• 間隔體采用Vespel SPC5000。
  耐熱性、耐藥品性優(yōu)異，高溫下的排氣量極少。
• 通過(guò)軸套與間隔體的滑移，允許有偏心、偏角存在。
• 因誤差調(diào)整量而產(chǎn)生的軸載荷變小，減輕了軸的負(fù)擔(dān)。

用途

FPD生產(chǎn)設(shè)備/半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

使用注意事項(xiàng)

安裝到D型切口軸時(shí)，請(qǐng)注意軸的D型切口面的位置。?偏差調(diào)整
備有內(nèi)六角螺栓可從聯(lián)軸器的外徑伸出、旋轉(zhuǎn)直徑大于外徑的規(guī)格。請(qǐng)注意聯(lián)軸器的干渉。旋轉(zhuǎn)直徑

排氣的分析

單位 : （v/v ppm）

成分		含量
無(wú)機(jī)氣體	氫	500以下
	一氧化碳	500以下
	二氧化碳	500以下
有機(jī)氣體	甲烷	5以下
	乙烷	5以下
	乙烯	5以下
	丙烷	5以下
	乙炔	5以下
	i-丁烷	5以下
	n-丁烷	5以下
	丙烯	5以下

無(wú)機(jī)氣體、有機(jī)氣體均在定量下限以下，無(wú)法檢測(cè)。

• 測(cè)量方法
  無(wú)機(jī)氣體----氣相色譜法（TCD）
  有機(jī)氣體----氣相色譜法（FID）
• 測(cè)量條件
  加熱溫度----100℃

型號(hào)列表

MOHS-19C

• MOHS-19C-5-5
 
• MOHS-19C-5-6
 
• MOHS-19C-5-8
 
• MOHS-19C-6-6
 
• MOHS-19C-6-8
 
• MOHS-19C-8-8

MOHS-26C

• MOHS-26C-8-8
 
• MOHS-26C-8-10
 
• MOHS-26C-10-10

MOHS-32C

• MOHS-32C-8-8
 
• MOHS-32C-8-10
 
• MOHS-32C-8-11
 
• MOHS-32C-8-12
 
• MOHS-32C-8-14
 
• MOHS-32C-10-10
 
• MOHS-32C-10-11
 
• MOHS-32C-10-12
 
• MOHS-32C-10-14
 
• MOHS-32C-11-11
 
• MOHS-32C-11-12
 
• MOHS-32C-11-14
 
• MOHS-32C-12-12
 
• MOHS-32C-12-14
 
• MOHS-32C-14-14