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電商MRO供應鏈日本佳能四極桿質(zhì)譜儀M-080QA-HPM維護周期長運行成本低
電商MRO供應鏈日本佳能四極桿質(zhì)譜儀M-080QA-HPM維護周期長運行成本低
日期：2025-03-16 06:44
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摘要：
日本佳能四極桿質(zhì)譜儀M-080QA-HPM維護周期長運行成本低
M-080QA-HPM是一款四極桿質(zhì)譜儀，可在10-9 Pa~1.3 Pa的寬范圍內(nèi)工作。 由于我們獨特的技術(shù)，可以使用同一臺儀器測量超高真空和濺射過程中的壓力范圍。 由于可以在成膜過程中監(jiān)測氣體，因此可以檢測氣體異常和泄漏等缺陷，并防止由于工藝異常而導致的產(chǎn)品缺陷。
從腔室極限壓力到濺射工藝壓力的無縫測量
在薄膜沉積過程中可以高靈敏度地檢測氫氣
維護周期長，運行成本低
多種報警功...
日本佳能四極桿質(zhì)譜儀M-080QA-HPM維護周期長運行成本低
M-080QA-HPM是一款四極桿質(zhì)譜儀，可在10-9 Pa~1.3 Pa的寬范圍內(nèi)工作。 由于我們獨特的技術(shù)，可以使用同一臺儀器測量超高真空和濺射過程中的壓力范圍。 由于可以在成膜過程中監(jiān)測氣體，因此可以檢測氣體異常和泄漏等缺陷，并防止由于工藝異常而導致的產(chǎn)品缺陷。
- 從腔室極限壓力到濺射工藝壓力的無縫測量
- 在薄膜沉積過程中可以高靈敏度地檢測氫氣
- 維護周期長，運行成本低
- 多種報警功能，可檢測生產(chǎn)過程中的異常情況
| 機種名 | M-080QA-HPM | ||
|---|---|---|---|
| 基本性能 |
測定質(zhì)量數(shù)範囲 |
1～80 m/z | |
|
動作圧力 |
1.3 Pa以下 | ||
|
*小検知濃度 |
5 ppm（H2を除く）、H2：100 ppm以下 | ||
|
感度 （N2） |
FC | 7.5×10-9 A/Pa以上 | |
| SEM | 7.5×10-5 A/Pa以上 | ||
| 分解能 | ＜ 1 amu @10 % of peak heigt | ||
|
仕様 |
フィラメント | イットリアコートイリジウム1本 | |
| ベーク溫度 | 250 ℃（分析管のみ） | ||
| 接続フランジ | φ70ICF | ||
| 定格入力電圧 | AC100 V～AC240 V | ||
| 質(zhì)量 | 分析管 | 1.1 kg | |
| コントローラ | 2.2 kg | ||
|
通信インターフェイス |
RS-232C/485 | ||
|
制御ソフト |
QUADVISION3 Windows7, 8.1, 10対応 | ||
