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SMT設(shè)備，物料運輸，切削工具，作業(yè)工具，化學(xué)產(chǎn)品，測量儀器，供應(yīng)器材，環(huán)境設(shè)備。（SAKAGUCHI坂口電熱）（NIPPON MUKI日本無機）（SUIDEN瑞電）（IMAO今尾）（SGK昭和技研） (愛安得AND)(OSAWA大澤)

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電商MRO供應(yīng)鏈講解ULVAC愛發(fā)科真空計測定子SH200-A的資料及用途

日期：2025-03-15 10:19

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摘要： ULVAC愛發(fā)科真空計ST200-A配件測定子 SH200-A 這是一個新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計"，可以實現(xiàn)不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念，但進行了改進，更加人性化。特點可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù) 小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別*小的產(chǎn)品之一。操...

ULVAC愛發(fā)科真空計ST200-A配件測定子 SH200-A

這是一個新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計"，可以實現(xiàn)不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念，但進行了改進，更加人性化。

特點

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別*小的產(chǎn)品之一。
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
更強大的產(chǎn)品陣容：除模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10⁺⁵～5×10^-8Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以**的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控，包括半導(dǎo)體和電子元件。
用于具有多個處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測量，例如in-line式和枚葉式
高真空?超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)格

型號 SH200-A SH200-R HT200-E
（即將上市）

規(guī)格標準規(guī)格串口通信規(guī)格 EtherCAT規(guī)格

適應(yīng)多離子傳感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)

可以連接的傳感器多離子傳感器：1本
皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）
大其他傳感器SAU：1本（可選）

測量精度（N₂） SH200本體模式：±2％

取樣時間 60ms 5回移動平均処理

測定値出力出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}

更新時間 60msec

控制輸入信號 FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF
打開集電極動作、負邏輯
* FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異 - -

制御出力信號傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V - -

串行通信規(guī)格 - RS232C/RS-485 EtherCAT

LED顯示 POWER/ERROR：電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)

發(fā)射電流 1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)

DEGAS 電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V

測量部耐圧性 2×10⁺⁵Pa （**壓力）
* 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性

傳感器內(nèi)部容量 17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)

使用溫度范圍 10～50℃

使用濕度范圍 15～80%(不結(jié)露)

保管溫度 -20～65℃(非通電時、不結(jié)露)

IP保護等級 IP30

電源電壓 DC20～28V (波紋，噪音1%以下)
8W以下

輸入/輸出連接器 D-sub15銷（M2.6螺絲）

重量調(diào)節(jié)器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g

外形尺寸 W×D×H 69mm×63mm×90mm (控制器部分)

適合規(guī)格 CE

選項多離子傳感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材質(zhì)：燈絲1,2 -Ir/Y₂O₃殼
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???

皮拉尼真空計傳感器 SWU10-R　※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。

皮拉尼真空計 SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質(zhì)：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接

大氣壓傳感器 SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L

單位電纜 GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m

顯示單元 1CH：ISG1 (DC24V電源使用)

顯示單元電纜 SH200～顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m

連接器入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））

其他検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各種模式規(guī)格

SH200-A/SH200-R/SH200-E有3種方式可選，多規(guī)格單體模式、皮拉尼真空計的組合模式、皮拉尼真空計或大氣壓傳感器的三重組合模式

模式 SH200-A/SH200-R/SH200-E
單體模式 SH200-A/SH200-R/SH200-E
＋SWU10-R
組合模式 SH200-A/SH200-R/SH200-E
＋SWU10-R＋SAU
組合模式

測量圧力范圍 5.0×10^-8 to 1.0×10⁺¹Pa 5.0×10^-8to 1.0×10⁺⁵Pa 5.0×10^-8 to 1.0×10⁺⁵Pa

測量精度 5.0×10^-8to 1.0×10⁺¹Pa：
±15% 5.0×10^-8to 1.0×10^-1Pa：±15%
4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15%
3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10%
1.0×10⁺⁴ to 1.0×10⁺⁵Pa：±20% 5.0×10^-8 to 4.0×10^-1Pa：±15%
4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15%
3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10%
1.0×10⁺⁴ to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa?基準溫度25℃)

連接方式圖解 SH200+SWU10-R.png SH200+SWU10-R+SAU.png

測定壓力范圍圖解
當(dāng)需要確認大氣壓，如腔體打開的情況下，推薦使用三合一組合

電腦/智能手機的連接圖示

應(yīng)用軟件「UL-MOBI」

電腦用	從ULVAC SHOWCASE下載
智能手機用	Google Play下載

Compatible devices

電腦 Windows10 64bit 以上

智能手機
Android 6以上、USB TypeC

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粵公網(wǎng)安備 44030902000284號

型號		SH200-A	SH200-R	HT200-E （即將上市）
規(guī)格		標準規(guī)格	串口通信規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器		M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以連接的傳感器		多離子傳感器：1本皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）大其他傳感器SAU：1本（可選）
測量精度（N₂）		SH200本體模式：±2％
取樣時間		60ms 5回移動平均処理
測定値出力		出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間		60msec
控制輸入信號		FIL ON/OFF, FIL　1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯 * FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異	-	-
制御出力信號		傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信規(guī)格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示		POWER/ERROR：電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流		1mA (1×10^-3Pa以下), 10μA (1×10^-3Pa以上)
DEGAS		電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
測量部耐圧性		2×10⁺⁵Pa （*壓力）需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量		17cm³(M-44), 19cm³(M-45), 17cm³(M-46)
使用溫度范圍		10～50℃
使用濕度范圍		15～80%(不結(jié)露)
保管溫度		-20～65℃(非通電時、不結(jié)露)
IP保護等級		IP30
電源電壓		DC20～28V (波紋，噪音1%以下) 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub15銷（M2.6螺絲）
重量		調(diào)節(jié)器：約280g　測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格		CE
選項	多離子傳感器	M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材質(zhì)：燈絲1,2 -Ir/Y₂O₃殼其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???
	皮拉尼真空計傳感器	SWU10-R　※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
	皮拉尼真空計	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì)：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
	大氣壓傳感器	SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
	單位電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	顯示單元	1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
	顯示單元電纜	SH200～顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
	連接器	入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他	検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E 單體模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R 組合模式	SH200-A/SH200-R/SH200-E ＋SWU10-R＋SAU 組合模式
測量圧力范圍	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺¹Pa	5.0×10^-8to 1.0×10⁺⁵Pa	5.0×10^-8 to 1.0×10⁺⁵Pa
測量精度	5.0×10^-8to 1.0×10⁺¹Pa： ±15%	5.0×10^-8to 1.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 1.0×10⁺⁵Pa：±20%	5.0×10^-8 to 4.0×10^-1Pa：±15% 4.0×10^-1 to 3.0×10⁺⁰Pa：±10～±15% 3.0×10⁺⁰ to 1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴ to 3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa?基準溫度25℃)
連接方式圖解
測定壓力范圍圖解	當(dāng)需要確認大氣壓，如腔體打開的情況下，推薦使用三合一組合

電腦	Windows10 64bit 以上
智能手機	Android 6以上、USB TypeC

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