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電商MRO供應(yīng)鏈講解ULVAC愛發(fā)科真空計測定子SH200-A的資料及用途
電商MRO供應(yīng)鏈講解ULVAC愛發(fā)科真空計測定子SH200-A的資料及用途
日期:2025-03-15 10:19
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摘要:
ULVAC愛發(fā)科 真空計ST200-A配件 測定子 SH200-A
這是一個新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計",可以實現(xiàn)不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念,但進行了改進,更加人性化。
特點
可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)
小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別*小的產(chǎn)品之一。
操...
ULVAC愛發(fā)科 真空計ST200-A配件 測定子 SH200-A
這是一個新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計",可以實現(xiàn)不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念,但進行了改進,更加人性化。
特點
- 可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)
- 小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別*小的產(chǎn)品之一。
- 操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
- 更強大的產(chǎn)品陣容:除模擬輸出規(guī)格(SH200-A)和串行通信規(guī)格(SH200-R)外,還將增加EtherCAT規(guī)格(SH200-E)。
- 燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
- 壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~5×10-8Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
- 可以**的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。
用途
- 用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控,包括半導(dǎo)體和電子元件。
- 用于具有多個處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測量,例如in-line式和枚葉式
- 高真空?超高真空設(shè)備的壓力測量
規(guī)格
型號 | SH200-A | SH200-R |
HT200-E (即將上市) |
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規(guī)格 | 標準規(guī)格 | 串口通信規(guī)格 | EtherCAT規(guī)格 | |
適應(yīng)多離子傳感器 | M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) | |||
可以連接的傳感器 |
多離子傳感器:1本 皮拉尼真空計SWU10-R:1本(可選) 大其他傳感器SAU:1本(可選) |
|||
測量精度(N2) | SH200本體模式:±2% | |||
取樣時間 | 60ms 5回 移動平均処理 | |||
測定値出力 |
出力電壓 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} |
|||
更新時間 | 60msec | |||
控制輸入信號 |
FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF 打開集電極動作、負邏輯 * FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異 |
- | - | |
制御出力信號 |
傳感器錯誤,設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控 定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V |
- | - | |
串行通信規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
LED顯示 | POWER/ERROR: 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化) | |||
發(fā)射電流 | 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上) | |||
DEGAS | 電子轟擊脫離方法(電子轟擊)1mA、330V | |||
測量部耐圧性 |
2×10+5Pa (**壓力) * 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性 |
|||
傳感器內(nèi)部容量 | 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46) | |||
使用溫度范圍 | 10~50℃ | |||
使用濕度范圍 | 15~80%(不結(jié)露) | |||
保管溫度 | -20~65℃(非通電時、不結(jié)露) | |||
IP保護等級 | IP30 | |||
電源電壓 |
DC20~28V (波紋,噪音1%以下) 8W以下 |
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輸入/輸出連接器 | D-sub15銷(M2.6螺絲) | |||
重量 | 調(diào)節(jié)器:約280g 測定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g | |||
外形尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm (控制器部分) | |||
適合規(guī)格 | CE | |||
選項 | 多離子傳感器 |
M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070) 材質(zhì):燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼 其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni??? |
||
皮拉尼真空計傳感器 | SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。 | |||
皮拉尼真空計 |
SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì):燈絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接 |
|||
大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L | |||
單位電纜 | GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m | |||
顯示單元 | 1CH:ISG1 (DC24V電源使用) | |||
顯示單元電纜 |
SH200~顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m |
|||
連接器 | 入出力連接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺絲)) | |||
其他 | 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書 |
各種模式規(guī)格
SH200-A/SH200-R/SH200-E有3種方式可選,多規(guī)格單體模式、皮拉尼真空計的組合模式、皮拉尼真空計或大氣壓傳感器的三重組合模式
模式 |
SH200-A/SH200-R/SH200-E 單體模式 |
SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R 組合模式 |
SH200-A/SH200-R/SH200-E +SWU10-R+SAU 組合模式 |
測量圧力范圍 | 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa | 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa |
測量精度 |
5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa: ±15% |
5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa:±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa:±20% |
5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa:±15% 4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15% 3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa?基準溫度25℃) |
連接方式圖解 |
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![]() |
測定壓力范圍圖解 |
![]() 當(dāng)需要確認大氣壓,如腔體打開的情況下,推薦使用三合一組合 |
電腦/智能手機的連接圖示

應(yīng)用軟件「UL-MOBI」
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智能手機用 | Google Play下載 |
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電腦 | Windows10 64bit 以上 |
智能手機 |
Android 6以上、USB TypeC |
