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產(chǎn)品目錄
電商MRO供應(yīng)鏈講解ULVAC愛發(fā)科真空計測定子SH200-A的資料及用途

電商MRO供應(yīng)鏈講解ULVAC愛發(fā)科真空計測定子SH200-A的資料及用途

日期:2025-03-15 10:19
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摘要: ULVAC愛發(fā)科 真空計ST200-A配件 測定子 SH200-A 這是一個新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計",可以實現(xiàn)不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念,但進行了改進,更加人性化。 特點 可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù) 小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別*小的產(chǎn)品之一。 操...

ULVAC愛發(fā)科 真空計ST200-A配件 測定子 SH200-A

這是一個新系列的傳感器類型 "G-TRAN系列復(fù)合電離真空計",可以實現(xiàn)不同的測量范圍。作為B-A型電離真空計、可以測量超高真空。保留了以往的寬幅測壓和低運行成本的理念,但進行了改進,更加人性化。



特點

  • 可連接到不同的測量范圍:復(fù)合電離真空計可以根據(jù)
  • 小型化:與之前的產(chǎn)品相比,實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%),成為同級別*小的產(chǎn)品之一。
  • 操作性的提高:通過與PC/智能手機的連接,可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
  • 更強大的產(chǎn)品陣容:除模擬輸出規(guī)格(SH200-A)和串行通信規(guī)格(SH200-R)外,還將增加EtherCAT規(guī)格(SH200-E)。
  • 燈絲壽命通知功能:通過監(jiān)測燈絲功率,可提前通知燈絲壽命。
  • 壓力測量范圍廣:從大氣壓到高真空范圍(1×10+5~5×10-8Pa)(選配SWU10-R的情況下)。
  • 可以**的測量大氣壓:可以檢查腔體的開啟情況(當(dāng)連接了可選的單元SAU時)。

用途

  • 用于各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝監(jiān)控,包括半導(dǎo)體和電子元件。
  • 用于具有多個處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力測量,例如in-line式和枚葉式
  • 高真空?超高真空設(shè)備的壓力測量

規(guī)格

型號 SH200-A SH200-R HT200-E
(即將上市)
規(guī)格 標準規(guī)格 串口通信規(guī)格 EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
可以連接的傳感器 多離子傳感器:1本
皮拉尼真空計SWU10-R:1本(可選)
大其他傳感器SAU:1本(可選)
測量精度(N2 SH200本體模式:±2%
取樣時間 60ms 5回 移動平均処理
測定値出力 出力電壓 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間 60msec
控制輸入信號 FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打開集電極動作、負邏輯
* FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異
- -
制御出力信號 傳感器錯誤,設(shè)定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- -
串行通信規(guī)格 - RS232C/RS-485 EtherCAT
LED顯示 POWER/ERROR: 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流 1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
DEGAS 電子轟擊脫離方法(電子轟擊)1mA、330V
測量部耐圧性 2×10+5Pa (**壓力)
* 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用溫度范圍 10~50℃
使用濕度范圍 15~80%(不結(jié)露)
保管溫度 -20~65℃(非通電時、不結(jié)露)
IP保護等級 IP30
電源電壓 DC20~28V (波紋,噪音1%以下)
8W以下
輸入/輸出連接器 D-sub15銷(M2.6螺絲)
重量 調(diào)節(jié)器:約280g 測定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H 69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格 CE
選項 多離子傳感器 M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材質(zhì):燈絲1,2 -Ir/Y2O3
其他:PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???
皮拉尼真空計傳感器 SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
皮拉尼真空計 SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質(zhì):燈絲-Pt, 其他-BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
大氣壓傳感器 SAU(NW16) 材質(zhì):SUS316L
單位電纜 GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m, GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
顯示單元 1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
顯示單元電纜 SH200~顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
連接器 入出力連接器(D-sub15-soket(M2.6mm螺絲))
其他 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各種模式規(guī)格


SH200-A/SH200-R/SH200-E有3種方式可選,多規(guī)格單體模式、皮拉尼真空計的組合模式、皮拉尼真空計或大氣壓傳感器的三重組合模式

模式 SH200-A/SH200-R/SH200-E
單體模式
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R
組合模式
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R+SAU
組合模式
測量圧力范圍 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa 5.0×10-8 to 1.0×10+5Pa
測量精度 5.0×10-8 to 1.0×10+1Pa:
±15%
5.0×10-8 to 1.0×10-1Pa:±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa:±20%
5.0×10-8 to 4.0×10-1Pa:±15%
4.0×10-1 to 3.0×10+0Pa:±10~±15%
3.0×10+0 to 1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa?基準溫度25℃)
連接方式圖解 SH200_S.png SH200+SWU10-R.png SH200+SWU10-R+SAU.png
測定壓力范圍圖解 SH200_i.png

當(dāng)需要確認大氣壓,如腔體打開的情況下,推薦使用三合一組合

電腦/智能手機的連接圖示

SH200_cellphone+PC.png

應(yīng)用軟件「UL-MOBI」

電腦用 從ULVAC SHOWCASE下載
智能手機用 Google Play下載

Compatible devices

電腦 Windows10 64bit 以上
智能手機

Android 6以上、USB TypeC








粵公網(wǎng)安備 44030902000284號

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