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電商MRO供應(yīng)鏈代理日本SAKAGUCHI坂口電熱臺(tái)式原子級(jí)抗鋸齒熱處理極簡(jiǎn)設(shè)備

日期:2025-03-16 03:34
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摘要: 原子級(jí)抗鋸齒熱處理極簡(jiǎn)設(shè)備(極簡(jiǎn)激光氫退火裝置) < 硅微結(jié)構(gòu)的原子級(jí)平滑和舍入控制,實(shí)現(xiàn)了各種領(lǐng)域和應(yīng)用的 MEMS 器件的高性能和高可靠性! </b10> >東北大學(xué)教授 Yoshiaki Kanamori 通過(guò)與東北大學(xué)、AIST 和 Minimal Fab Promotion Organization 的 H30~R2 支持項(xiàng)目共同開(kāi)發(fā),將利用東北大學(xué)教授發(fā)明的原子抗混疊退火 (AAA) 技術(shù),通過(guò)氫氣氛退火對(duì)三維結(jié)構(gòu)進(jìn)行平滑和圓角控制的新技術(shù)商業(yè)化。 長(zhǎng)處 φ12.5mm 晶圓(單晶圓處理) 緊...

原子級(jí)抗鋸齒熱處理極簡(jiǎn)設(shè)備(極簡(jiǎn)激光氫退火裝置)

< 硅微結(jié)構(gòu)的原子級(jí)平滑和舍入控制,實(shí)現(xiàn)了各種領(lǐng)域和應(yīng)用的 MEMS 器件的高性能和高可靠性! </b10> >東北大學(xué)教授 Yoshiaki Kanamori 通過(guò)與東北大學(xué)、AIST 和 Minimal Fab Promotion Organization 的 H30~R2 支持項(xiàng)目共同開(kāi)發(fā),將利用東北大學(xué)教授發(fā)明的原子抗混疊退火 (AAA) 技術(shù),通過(guò)氫氣氛退火對(duì)三維結(jié)構(gòu)進(jìn)行平滑和圓角控制的新技術(shù)商業(yè)化。


長(zhǎng)處

  • φ12.5mm 晶圓(單晶圓處理)
  • 緊湊的外殼(約 30 cm 寬)
  • 無(wú)需潔凈室
  • 低功耗(額定 AC100V 10A)
  • 超高真空(5 × 10 -5 Pa 或更低)
  • 快速升溫和降溫(2.5 秒至 1100°C)
  • 穩(wěn)定的溫度控制 (1100°C±0.5°C)


  • 均勻的溫度分布(變化 (σ/平均值):0.5%)

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2024/09/30




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