• MBE 設備的基板加熱
• 晶圓退火（SiC、GaAS 等）
• 可對多層器件進行表面退火（與小型化器件兼容）

成就示例

日本原子能機構 日本

激光功率：100W

尺寸：H251×W200×D253 （mm）

激光加熱實驗

使用 EXL-CT-010DS55，對安裝在真空室中的樣品進行激光加熱。 從樣品的背面（與激光照射表面相反）測量溫度分布。

1. 藍寶石襯底（φ2英寸） --- 應用于透明襯底

溫度分布藍寶石襯底的溫度

分布

（激光功率：1000W）

藍寶石

襯底的快速升溫和降落（平均襯底溫度）（

激光功率：1000W）

2. 溫度傾斜---組合光學的使用

溫度分布金屬板的溫度

分布

（激光功率：86W 焦點）

溫度傾斜圖 金屬板的溫度

斜率

標準規(guī)格

型號 EXL-CT-010-DS55
激光照射方法	直接型	體型	高 625 毫米 × 寬 700 毫米 × 深 320 毫米
激光功率	高達 1kW	附屬品	專用冷水機組
激光波長	808 納米	額定	機身：1P200V20A 冷水機：1P200V15A
激光幾何形狀	廣場
光學元件（均勻性）	均質器 （±5%）	言論	JST Originality 建模 和開發(fā)產品 （FY17）
加熱區(qū)	□ 55 毫米
工作距離	400 毫米~

* 以上為標準規(guī)格。 可以根據客戶的要求進行更改。

選項 * 我們將根據您的要求制造

• 真空室
• 溫度控制單元
  ?輻射溫度計
  ?數字指示器控制器
  ?紅外線透射窗
• PCB 支架（用于 2 英寸板）
• 用于組合專用基板支架的光學系統（兼容 □10mm 板）
• 各種襯底（藍寶石、硅、GaAs 等）

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2024/09/26