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電商MRO供應鏈今日推薦SAKAGUCHI坂口電熱ExLASER?多功能激光平面瞬時加熱裝置

日期:2025-03-15 22:32
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摘要: ExLASER® 是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。 長處 可以超快速的溫度上升和下降。 一次均勻加熱 2 英寸基板 直接加熱只能用于被加熱的物體。 可根據工藝進行溫度控制 節(jié)能而不加熱大氣 MBE 設備的基板加熱 ...

ExLASER® 是一種多功能激光平面瞬時加熱裝置。

長處

  • 可以超快速的溫度上升和下降。
  • 一次均勻加熱 2 英寸基板
  • 直接加熱只能用于被加熱的物體。
  • 可根據工藝進行溫度控制
  • 節(jié)能而不加熱大氣


  • MBE 設備的基板加熱
  • 晶圓退火(SiC、GaAS 等)
  • 可對多層器件進行表面退火(與小型化器件兼容)


成就示例


日本原子能機構 日本
激光功率:100W
尺寸:H251×W200×D253 (mm)





激光加熱實驗

使用 EXL-CT-010DS55,對安裝在真空室中的樣品進行激光加熱。 從樣品的背面(與激光照射表面相反)測量溫度分布。

1. 藍寶石襯底(φ2英寸) --- 應用于透明襯底


溫度分布藍寶石襯底的溫度
分布
(激光功率:1000W)



藍寶石
襯底的快速升溫和降落(平均襯底溫度)(
激光功率:1000W)


2. 溫度傾斜---組合光學的使用


溫度分布金屬板的溫度
分布
(激光功率:86W 焦點)



溫度傾斜圖 金屬板的溫度
斜率



標準規(guī)格

型號 EXL-CT-010-DS55
激光照射方法 直接型 體型 高 625 毫米 × 寬 700 毫米 × 深 320 毫米
激光功率 高達 1kW 附屬品 專用冷水機組
激光波長 808 納米 額定 機身:1P200V20A
冷水機:1P200V15A
激光幾何形狀 廣場
光學元件(均勻性) 均質器 (±5%) 言論 JST Originality 建模
和開發(fā)產品 (FY17)
加熱區(qū) □ 55 毫米
工作距離 400 毫米~

* 以上為標準規(guī)格。 可以根據客戶的要求進行更改。




選項 * 我們將根據您的要求制造


  • 真空室
  • 溫度控制單元
    ?輻射溫度計
    ?數字指示器控制器
    ?紅外線透射窗
  • PCB 支架(用于 2 英寸板)
  • 用于組合專用基板支架的光學系統(兼容 □10mm 板)
  • 各種襯底(藍寶石、硅、GaAs 等)






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主要合作客戶


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2024/09/26


粵公網安備 44030902000284號

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