材質(zhì)、表面處理
SCSS | |
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主體 | SUSXM7(相當(dāng)于SUS304) |
球 |
SUS440C(硬度55-60HRC) 薄膜氟涂層 |
用途
工件的固定?定位/真空裝置/FPD制造裝置/半導(dǎo)體制造裝置特點(diǎn)
- 用于固定FPD制造裝置、半導(dǎo)體制造裝置等真空裝置、真空容器內(nèi)的工件。
- 經(jīng)過(guò)無(wú)塵洗凈?無(wú)塵包裝。?無(wú)塵洗凈、無(wú)塵包裝服務(wù)
- 通過(guò)薄膜氟涂層,無(wú)塵洗凈后提高了球的潤(rùn)滑性。
- 通孔和通槽易于排出蓄積于裝置內(nèi)的氣體。
- SCSS-VR通過(guò)整球的點(diǎn)接觸可靠地固定工件。
- SCSS-VF通過(guò)平面頭鋼球進(jìn)行面接觸。不會(huì)損傷工件。球可彈性旋轉(zhuǎn)9°。即使配合面為傾斜面,也能可靠地夾緊。